日立掃描電鏡是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過(guò)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對(duì)樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析。SEM已廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)領(lǐng)域。

　　通常人眼能夠分辨的最小距離為0.2MM，為了觀察分析更微小的細(xì)節(jié)，人們發(fā)明了各種觀察儀器。為突破光學(xué)顯微鏡的分辨極限，人們想到用電子束做照明束，并與上個(gè)世紀(jì)三十年代制造出了第一臺(tái)掃描電子顯微鏡。它的分辨率已經(jīng)達(dá)到了原子水平（≈0.1um），比光學(xué)顯微鏡提高了近兩千倍。

　　日立掃描電鏡的應(yīng)用：

　　1、掃描電鏡觀察大試樣的原始表面

　　掃描電鏡能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對(duì)試樣的形狀沒(méi)有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。

　　2、掃描電鏡連續(xù)觀察

　　掃描電鏡進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察，放大倍數(shù)的可變范圍很寬，且不用經(jīng)常對(duì)焦。

　　3、掃描電鏡觀察試樣表面形貌

　　掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。

　　4、掃描電鏡觀察納米材料

　　所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內(nèi)，掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率。現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

　　5、掃描電鏡觀察材料斷口

　　掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析已經(jīng)工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。

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