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離子研磨儀的特性及應用

文章來源:杰星科技 人氣: 發(fā)表時間:2019-12-09

離子研磨儀是高質量的SEM樣品制備臺式精密儀器,滿足幾乎所有材料應用的樣品制備。離子研磨儀是通過物理科學技術來增強樣品表面特性,使用惰性氣體中具有代表性的氬氣作為氣源,通過加速電壓使其電離并撞擊樣品表面,在控制的范圍內,通過這種動量轉換的方式,氬氣離子去撞擊樣品表面從而得到無應力損傷的理想的SEM觀察樣品。

離子研磨儀的真空艙體保證了設備操作過程中持續(xù)真空,預真空鎖使真空艙體與外部環(huán)境隔離,保證了樣品轉移過程中極佳的真空環(huán)境。小尺寸的樣品在后期維護中清理也更加簡便。

多層OLED器件結構較為復雜,在有機與無機材料層界面間容易產(chǎn)生內應力,導致在彎曲時造成層與層間的剝離,這使得生產(chǎn)大尺寸柔性OLED面板時的良品率極低,日立的離子研磨儀IM4000的截面加工效果優(yōu)異,獨特的離子束匯聚離子槍設計及樣品擺動設計,加工效率高,低損傷的特點,實現(xiàn)對OLED截面觀察有效的監(jiān)控產(chǎn)品的合格率。

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