掃描電子顯微鏡是繼透射電鏡之后發(fā)展起來的一種電子顯微鏡簡稱掃描電鏡。它是將電子束聚焦后以掃描的方式作用樣品，產(chǎn)生一些列物理信息，收集其中的二次電子、背散射電子等信息，經(jīng)處理后獲得樣品表面形貌的放大圖像。

掃描電子顯微鏡的特點：

1、分辨本領(lǐng)強。其分辨率可達(dá)1nm以下，介于光學(xué)顯微鏡的極限分辨率（200nm）和投射電鏡的分辨率（0.1nm）之間。

2、有效放大倍率高。光學(xué)顯微鏡的最大有效放大率為1000倍左右，透射電鏡為幾百到80萬，而掃描電鏡可從數(shù)十到20萬，聚焦后，無需重新聚焦。

3、景深大。其景深比透射電鏡高一個量級，可直接觀察斷口形貌、松散粉體，圖像立體感強；改變電子束的入射角度，對統(tǒng)一視野可立體觀察和分析。

4、制樣簡單。對于金屬制樣，可直接觀察，也可拋光、腐蝕后再觀察；對陶瓷、高分子等不導(dǎo)電試樣，需在真空鍍膜機中鍍一層金膜后再進(jìn)行觀察。

5、電子損傷小。電子束直徑一般為3-幾十納米，強度約為10-9到10-11mA，遠(yuǎn)小于透射電鏡的電子束能量，加速電壓可以小到0.5KV，且電子束在試樣上是動態(tài)掃描，并不固定，因此電子損傷小，污染輕，尤為適合高分子試樣。

6、實現(xiàn)綜合分析。掃描電鏡中可以同時組裝其他觀察儀器，如波譜儀、能譜儀等，實現(xiàn)對試樣的表面形貌、微區(qū)成分等方面的同步分析。